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NXシリーズ 高機能温度調節ユニット
NX-HTC

半導体の微細・積層化でシビアになる温度制御に対応

省スペース化で装置の小型化と制御多点化を両立

・既存のフットプリントで制御の多点化を実現
・小型コネクタ端子台XW2Kとの組み合わせでさらに省スペース化

温度制御性能を向上し、微細な加工精度に対応

・広範囲かつ高分解能な温度制御を実現

ワーク・設備・環境変動による微細な温度プロファイルの変化を検知してムダを削減

・特徴量見える化機能について

【従来】温度の波形の監視だけでは、微細な変動を捉えることが難しい
【NX-HTC】特徴量で監視することで、微細な変動を検知が可能

定型外乱による温度変動を自動で抑制

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